在氧化镓的五种同分异构体(α、β、γ、δ和ε)中,单斜晶系的β-Ga2O3因其卓越的热力学稳定性而备受青睐。(-201)晶面同质外延β-Ga2O3优势在于衬底尺寸大,可实现大规模.
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